用于高精度测量的可靠超高真空(UHV)解决方案
表面科学设备对于研究不同相界面(如固-液、固-气、固-真空)中发生的物理和化学现象至关重要。先进的表面分析技术——包括角分辨光电子能谱(ARPES)、扫描探针显微镜(SPM)、X射线光电子能谱(XPS)、低能电子显微镜/光电子显微镜(LEEM/PEEM)以及分子束外延(MBE)——都需要稳定、洁净的超高真空(UHV)条件,以获得高质量且可重复的实验结果。
根据不同的技术要求,基底压力通常在1E-9 至 1E-11 Torr之间,而对于基础研究、半导体材料分析、新型材料和燃料电池研发等高灵敏度应用,则需要更低的压力。
为了确保测量精度最佳,表面科学真空系统必须配备具备高氢气(H₂)抽速的真空泵——氢气是UHV环境中的主要残余气体——同时要求设备无油、无振动,且具备极低或无磁场干扰,以避免对精密实验产生影响。
SAES CapaciTorr® Z NEG 泵常与现有的涡轮分子泵(TMP)、溅射离子泵(SIP)或低温泵结合使用,通过提升氢气抽速显著改善真空性能,同时不会增加功耗或系统复杂度。对于紧凑且磁场洁净的解决方案,NEXTorr® Z 系列——包括NEXTorr Z500、Z1000和Z2000——提供了相较于传统大型泵更先进的替代方案,实现了超洁净、稳定的真空环境,助力表面科学研究迈向更高水平。
SAES非蒸发型吸气剂(NEG)泵的独特特性
高抽速
对氢气(H2)具有高抽速对于实现深度且洁净的超高真空(UHV)条件至关重要,这能确保系统不受任何可能干扰测量的污染物或杂质影响。
无振动
在表面科学设备中,避免振动至关重要,因为任何机械扰动都可能影响测量的精度和准确性。
极低磁场
降低或消除磁场(静态或磁场梯度)同样必要,以最大限度地减少对测量的不利干扰,从而确保采集到准确可靠的数据。
洁净环境
洁净泵(烧结结构)对任何超高真空(UHV)系统都是一大优势,尤其是在表面科学设备中,因为它们能防止来自泵油或其他材料的污染,从而避免干扰测量结果。